目前致力于追求更高性能的领域来开展MEMS传感器业务。比如汽车、产业设备以及医疗器械等。这些均是今后有望实现高度成长的领域。
在检测汽车、产业设备以及洗衣机等使用的马达的振动情况，以判断是否发生异常的用途中，利用3轴加速度传感器。通过利用FFT分析发生的振动的频率成分，来推测振动发生的位置。例如，如果在低频带宽发现异常振动，可推断是马达外侧的盒子发生异常，如果在中频带宽，可推断是轴承部分发生了异常。
加速度传感器除了检测振动之外，还可用于检测汽车的行李架、医疗器械的床体以及飞机等的倾斜角。在这类用途中，主要用来检测±20g以下的相对比较缓慢的动作。
另一方面，陀螺仪传感器用于检测直升机、船舶以及无人驾驶飞机等的旋转动作和方向变化。
采用MEMS技术的陀螺仪传感器利用振动的物体上的“科氏力”来测量角速度。
今后在行人用导航仪方面，陀螺仪传感器的使用将会增加。因为与车载导航仪相比，行人导航仪要求更高的传感器性能。人的移动范围远远比汽车广。车载导航仪的前提是汽车行驶在道路上，而人四处移动。在利用GPS无法检测到的位置等，要想实现更精准的行人导航仪，就需要采用陀螺仪传感器。
