尽管MEMS技术在安全气囊和汽车压力传感器中应用了仅20年，然后就被应用在任天堂的Wii和Apple的iPhone中，然后现在就到了如何使得这类传感器得到更广泛的应用。
这些传感器主要应用在产品终端需要监测加速和减速的信息，这是从技术角度的描述，其实MEMS加速度传感器和MEMS陀螺仪有着更广泛的应用，包括医疗设备，工业设备，消费电子和汽车电子。
如果我们能更了解这五种模式---加速度(包括直线运动)，振动，震动，倾角和旋转---这样可以创造出更多的应用。
例如，一个加速度计可以根据自己监测到的终端状态来做出相关的反应，比如监测到非工作状态，就给设备发出信号，调整电源到低功耗模式。复杂的以及按钮将被姿态识别界面所代替，终端操作通过姿态控制变得更精确。例如，当罗盘在手上时会做出倾角补偿。
加速度，振动，震动，倾斜和转动-除了转动，其它全是一个时段内加速度的不同状态。但是不能直观的从加速/减速中得到这些信息，了解每种状态可以更好的发挥其功能。
加速度计(包括直线运动)测量的是单位时间内速度的变化。速度描述为米每秒(m/s)，包括位置变化和运动方向的变化。加速度传感器的单位是米每平方秒(m/s2)。加速度为负值---当司机准备停车时降速---减速。
振动在某种意义上被看作某个周期内快速的加速和减速。同样的，震动是瞬间的加速，但是不同于振动，震动是非周期的而且只发生一次。
当一个物体发生倾斜时，位置和重力发生变化，不过这种变化相对于振动和震动来说非常慢。MEMS加速度传感器通过测量不同轴的重力信息得到倾角信息。
现代先进的技术是的MEMS传感器越做越小，低G级个高G级都有，且有宽的带宽，增加了很多应用领域，低G传感器范围<20g用于测量人产生的加速度。高G范围的加速度传感器用于测量机器或者汽车产生的加速度。
转动测量的是角速率的变化，这个模式不用于其它因为旋转的变化不会引起加速度的改变。例如，一个三轴传感器，X,Y轴平行于地球表面，Z轴垂直，这种情况下，Z轴测量是1g，X,Y轴为0g。旋转Z轴，X,Y轴不变，这种情况下，Z轴测量的还是1g。MEMS陀螺仪用于感知这种转动。因为某些终端产品需要知道转动信息。陀螺仪可以内置于惯性测量单元中。
